洁净室的常见的几种气流方式

层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高
架地板或两侧隔板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为
CLASS1-100。其型式可分为二种：
                                       
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，
一般在下流侧污染较严重。
                     
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中
或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其他工作区域。

                          
乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间
墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级
1000-100，000级。
                                       
复合式：复合式为将乱流式及层流式予以符合或并用，可提供局部超洁净之空气。大家也称之为非单向流。