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浅谈集成电路无尘车间设计探讨 |
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随着IC生产工艺技术的不断发展,对于无尘车间生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格,本文81"、12",IC生产的无尘车间设计中有关无尘车间形式和送风方式、空气处理及温湿度保证措施,悬浮分子污染物(AMC)的控制,以及无尘车间排烟等方面的设计方案,进行了多... |
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手术室的空气压力根据其不同区域(如手术间、无菌准备间、刷手间、麻醉间和周围干净区域等)洁 净度不同要求而不同。不同级别的层流手术室其空气洁净度标准不同,例如美国联邦标准1000级为每立方 尺空气中0.5m的尘粒数,1000颗或每升空气中35颗。10000级层流... |
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