电子洁净室气压规定及控制篇

2016-06-01 11:06:30 编辑：kewatt 出处：科瓦特

对于大部分电子行业洁净空间，为了控制一定的洁净度，需要防止外界污染侵入，所以要保持

内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。这样外界的污染就不会侵入室内。其中压力差的维

持一般应符合以下原则：

洁净厂房

1 洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理

意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

洁净室中的气流速度规定：

这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说

明。对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概

念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；

(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。

(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污

染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室），由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的

速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需

要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低速一风速的可行性。

洁净室设计标准图

在我国，《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范））都是这样规定的

垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s

层流洁净室示意图

水平平行流（层流）洁净室≥0.35 m/s

洁净室水平层流示意图